SJT 31131-1994 4304型扩散炉完好要求和检查评定方法
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ID： |
DE8BE9197F6849F1A8A36E889F7FA741 |
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文件大小(MB)： |
0.21 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31131-94,4304型扩散炉完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 4304型扩散炉的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于4304型扩散炉,本标准也适用于4104.3103扩散炉。其它型号的扩散炉也可参照执行,2完好要求,2-1主要技术指标,2-1-1温度范围400.1300C,2.1.2温度稳定性士0-25C （在72h之内）,2-1- 3 恒温区长度 760mm士0. 5C,2-1.4温度重复性±0-25 C,每炉批之间,2.2机械系统,2- 2-1 移动速率,进出舟为 0. 21mm/s----- 41. 9mm/s,实用 0. 64mm/s-41- 9mm/s,连续,可设定,2. 2-2移动距离1549mm,可任意设定,2- 2-3 拉カ＞44N,2-3气路系统,2. 3-1气路系统的运动件在规定的各种速度范围内,不应发生振动和显著的冲击,不应有停,滞现象,2.3- 2各流量计指示正确,误差在允许范围内,且有有效期内校验合格证,2- 3-3气路及真空管道、接头、阀门元件之间联结应牢固,密封、无漏气现象,2-3-4各气动阀、手动阀工作正常,开放、关闭灵活、到位,2.4电气系统,2-4-1电气控制箱内布线整齐,各指示灯齐全完整,指示正确可靠。线路无破损老化,2.4.2 电气系统装置齐全,安全可靠,管线完整,性能良好,2.4.3 各种开关动作灵敏,自动保护装置及报警装置齐全,安全可靠,工作灵敏可靠,2.4.4 各电磁接触器,磁力启动器,继电器动作灵活,工作正常,2.4.5 控制器按键操作灵活可靠,2-4-6各指示灯齐全,指示正确,CRT显示数据可靠,2.4-7 自动保护装置和连锁装置齐全,工作正常,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994 06 01 实施,SJ/T 31131-94,2.4 -8测温组件指示正常.,2.4.9大电流连接处无发热现象,2.5 冷却系统,2. 5-1冷却器具齐全,2. 5-2匕'却系统不能有直线状的漏液流,2.5.3冷却管道,过滤网无堵塞,2- 5-4冷却水不得渗入电气箱内和设备内,2-5-5风冷部分各风扇运行正常,过温保护装置动作灵敏,2- 5.6净化柜风机运行正常,2. 5.7装片净化柜的洁净度10Q级,2.6 安全防护,2. 6.1设备保护盖板,挡住板齐全,完整无损、牢固、可靠,2- 6-2炉管两端用保温棉填塞,防止热量外泄,2- 6-3排毒风管每管平均5CFM,2.7 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检査方法,3-1-1用温度测试仪监测温度精度,3.1.2用2m左右长的热电偶放在炉堂正中,用数字温度计检测恒温区长度及温度精度,3-1.3其余项目用现场主观方法进行检査,3-2评定方法,3. 2-1主要项目有2.1.1、2.1.2、2.1.3、2.1.4。其余为次要项目,3-2-2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3-2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:谢国元、吴秀琴,2……
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